控制与决策

作者：周昕,齐月静,武志鹏,齐威,李爱琳

单位：中国科学院 微电子研究所，北京 100029;中国科学院大学，北京 100049,,中国科学院 微电子研究所，北京 100029;中国科学院大学，北京 100049,,中国科学院 微电子研究所，北京 100029;中国科学院大学，北京 100049,,中国科学院 微电子研究所，北京 100029;中国科学院大学，北京 100049,,中国科学院 微电子研究所，北京 100029;中国科学院大学，北京 100049,

关键词：光刻机;工件台;掩模台;迭代学习;同步控制;同步性能综合指标

基金：国家科技重大专项项目(2018ZX02101005).

超精密运动台是光刻机的关键组成部分, 包括工件台和掩模台, 二者的同步性能直接影响光刻机的套刻精度和关键尺寸均匀性. 针对工件台和掩模台的同步控制问题, 提出一种基于同步性能综合指标的迭代学习控制(MASD-ILC), 能够减小同步误差, 且有效抑制推力扰动. 验证所提方法的学习律沿时间轴和迭代轴的收敛性并给出收敛条件, 分析学习增益和权重系数对学习律收敛性的影响, 通过仿真验证所提出方法的有效性. 与传统基于误差的迭代控制(e-ILC)相比, 所提出的MASD-ILC收敛速度更快、收敛误差更小、鲁棒性更好. 基于MASD-ILC的系统经过迭代学习, 同步性能综合指标从31.56 nm降低到0.10 nm, 存在推力扰动和模型不确定时, MASD-ILC的收敛速度和收敛误差不受影响.

来源：2025年第4期

《控制与决策》期刊编辑部

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